荷蘭阿斯麥(ASML)支持台積電在臺設EUV培訓中心

【看中國2020年8月21日訊】荷蘭半導體製造設備商阿斯麥（ASML）8月20日於臺灣啟用其海外最大的EUV（極紫外光）全球技術培訓中心，該中心的總投資金額為1350萬歐元，可以就近為其最大客戶台積電提供技術上支持。該中心座落於臺南科學園區，台積電最先進的5奈米廠區就在10分鐘車程內。

阿斯麥是世界上唯一有能力製造EUV機臺的半導體設備商，晶圓製造廠如台積電、三星，要想生產出最先進的晶元，就得靠著這家荷蘭廠商的設備。過去，台積電、三星的EUV工程師得至荷蘭總部接受數月的培訓，但該培訓中心開幕後，每年能為其客戶培養360位EUV技術工程師。

阿斯麥全球副總裁暨臺灣區總經理陳文光在開幕典禮致詞時說，該中心不僅讓在臺灣的營運和服務項目更多元化，也實現其全力支援客戶先進位程開發與量產的承諾。他強調：「我們一直希望可以更靠近客戶，再加上台積電現在有（全世界）最大的裝機規模，我們認為在這裡訓練工程師有很大的需求。」

陳文光在接受美國之音提問時說：「我們在臺灣就一直是會擴大R&D（研發）的。」他更透露，阿斯麥在未來三年計畫在臺南擴大研發中心的投資，將目前280位的研發人員增加至500人。

EUV機臺是晶圓製造廠能否維持領先的關鍵之一，每臺造價超過一億美元的EUV機臺，不僅台積電與三星（Samsung）兩大晶圓廠要爭相搶購，連中國最先進的中芯半導體也盼望取得。2020年，阿斯麥只計畫出貨35臺EUV機臺，根據日經亞洲評論報導，其中超過20臺會出貨給台積電。

台積電營運副總經理王英郎在致詞時表示，他們一直希望阿斯麥能在臺南設立培訓中心。他說：「（這是）半導體史上最複雜、最精密的機臺，因為有這個機臺，讓我們的晶元進步很多。」

臺灣的經濟部部長王美花接受媒體聯訪時說，歸功於臺灣的防疫表現，今年1月至7月外資來臺投資已累計44億美元，相較去年同期增加10%，外資投資情形持續增加。她強調：「特別像阿斯麥這種設備廠商、或者跟半導體相關的材料廠商，這個都是我們現在要去積極引進外商來臺灣（的）投資，讓臺灣的半導體的生態系越來越完整。」

蔡英文政府當前的產業政策目標是將臺灣打造成「亞洲高階製造中心」與「半導體先進位程中心」。臺灣經濟部在今年7月提出計畫，希望透過外商設備在地化，扶植臺灣半導體設備與材料產業。

路透社今年1月報導，美國國務卿蓬佩奧（Mike Pompeo）去年曾遊說荷蘭政府，希望荷蘭不要販售半導體設備給中國，不久之後，荷蘭政府停止更新阿斯麥的出口許可。阿斯麥未曾公開客戶訊息，但業界公認， 下單EUV機臺的 中國客戶為中芯半導體。

阿斯麥8月20日提供給美國之音的betway体育手机网 聲明中表示，荷蘭政府仍在審核EUV機臺出口中國的許可，目前該公司還無法出貨EUV機臺至中國。

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